发明名称 DURCH POLYMERABBAU ERHÄLTLICHES NANO-PORÖSES MATERIAL MIT NIEDRIGER DIELEKTRIZITÄTSKONSTANTE
摘要
申请公布号 AT305057(T) 申请公布日期 2005.10.15
申请号 AT20000926025T 申请日期 2000.04.14
申请人 ALLIEDSIGNAL INC. 发明人 CASE, SUZANNE;LEUNG, ROGER, YU-KWAN
分类号 C08J5/18;C01B33/113;C08L29/14;C08L33/12;C08L67/04;C08L71/02;C08L83/05;C09D183/04;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):C23C18/12;C08L83/04 主分类号 C08J5/18
代理机构 代理人
主权项
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