Gasentladungslampe für EUV-Strahlung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Gasentladungslampe für EUV-Strahlung, mit einer Anode (1) und einer Hohlkathode (2), bei der die Hohlkathode (2) mindestens zwei Öffnungen (3, 3') und die Anode (1) eine durchgehende Öffnung (4) aufweist, und die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Längsachsen (5, 5') der Hohlkathodenöffnungen (3) einen gemeinsamen Schnittpunkt S haben, der auf der Symmetrieachse (6) der Anodenöffnung (4) liegt.