| 发明名称 |
FESTSTOFFTEMPERATURGEREGELTER SUBSTRATHALTER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69734151(D1) |
申请公布日期 |
2005.10.13 |
| 申请号 |
DE19976034151 |
申请日期 |
1997.03.27 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP., FREMONT |
发明人 |
DHINDSA, RAJINDER |
| 分类号 |
C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/324;H01L21/683;H01L35/30;H01L35/32;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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