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经营范围
发明名称
Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelement mit Kondensator
摘要
申请公布号
DE69333864(D1)
申请公布日期
2005.10.13
申请号
DE19936033864
申请日期
1993.06.14
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
FIJII, EIJI;SHIMADA, YASUHIRO;UEMOTO, YASUHIRO;HAYASHI, SHINITIROU;NASU, TOORU;ARITA, KOICHI;INOUE, ATSUO;MATSUDA, AKIHIRO;KIBE, MASAKI;OOTSUKI, TATSUO
分类号
H01L21/02;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/06;H01L27/115;H01L29/92;(IPC1-7):H01L21/824;H01J37/32;C23C16/50
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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