| 发明名称 | 带电粒子束设备的光学柱 | ||
| 摘要 | 一种用于检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱。该柱包括一个带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；一个透镜系统，用于引导带电粒子束(10)自源(2)到样品(14)上；及一个外罩(40)，在运行期间该外罩被置为束流加强电位。 | ||
| 申请公布号 | CN1222980C | 申请公布日期 | 2005.10.12 |
| 申请号 | CN01805798.5 | 申请日期 | 2001.01.29 |
| 申请人 | ICT半导体集成电路测试有限公司 | 发明人 | 汉斯－彼得·福尤尔鲍姆 |
| 分类号 | H01J37/26;H01J37/252;H01J37/18 | 主分类号 | H01J37/26 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 李强 |
| 主权项 | 1.一种用于检查样品(14)的带电粒子束设备的小型化光学柱，包括：带电粒子源(2)，用于提供一个带电粒子束(10)；透镜系统，用于把带电粒子束(10)从所述源(2)引导到所述样品(14)上，其特征在于，所述小型化光学柱还包括小型化光学柱的外罩(40)，其中在运行期间所述外罩被置为束流加强电位。 | ||
| 地址 | 德国海姆斯特滕 | ||