薄且脆的材料的气助激光切割

摘要

一种用于激光切割薄且脆的材料的改进方法和装置，其采用辅助气体排除熔化的材料和激光产生的碎屑，其特征在于高速辅助气体施加在被切割的材料上的净力基本上为零。本发明还提供一种改进的激光辅助气体喷嘴的形式，其形状确定成可达到一超音速气体流速，其有利地用于实现喷射的气体和其它材料的迅速排除。

主权项

1.一种使用激光切割装置对脆性材料的工件进行激光切割的方法，该激光切割装置包括：一用于产生激光束的激光器；一可移动的激光辅助气体喷嘴，其具有供激光束使用的入口孔和出口孔；引入一辅助气体进喷嘴经其出口孔射出的装置；以及设置于所述入口孔和出口孔之间用于(a)引导激光束使其通过其入口进入喷嘴并通过其出口喷出喷嘴，和(b)将激光束聚焦于待切割工件的光学装置；所述方法包括以下步骤：将喷嘴定位，从而其出口孔离开待切割工件的一个表面有一个选定的距离，所述选定的距离使得从出口孔以高速喷出的辅助气体没有净力作用在工件上；向所述喷嘴供应一个带压力的辅助气体用于通过所述出口孔排出，同时操作所述激光器使一激光束喷出喷嘴并撞击在所述工件上；以及平行于所述工件表面移动所述喷嘴，而同时(a)使所述选定距离保持不变，和(b)维持所述辅助气流和所述激光束通过所述喷嘴出口孔的输送，从而使激光束根据预定图案切割该工件，并让被激光束从工件上切除的材料被出口孔喷出的辅助气流冲走。