发明名称 带扩展设备
摘要 用于使保持带扩展的带扩展设备,该保持带安装在环形框架上,并且具有由多根分割线划分的多个区域的晶片附着到保持带上面,该带扩展设备包括,用于夹持环形框架的框架夹持装置;多个带夹持装置,用于夹住在环形框架的内圆周和保持带的晶片之间的区域,该保持带安装在被夹持在框架夹持装置上的环形框架上;和沿径向方向移动多个带夹持装置的带扩展装置。
申请公布号 CN1681082A 申请公布日期 2005.10.12
申请号 CN200510060081.5 申请日期 2005.03.31
申请人 株式会社迪斯科 发明人 永井祐介;大宫直树;饭塚健太吕
分类号 H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/78 主分类号 H01L21/00
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 王琼
主权项 1.一种用于使保持带扩展的带扩展设备,保持带安装在环形框架上,并且具有由多根分割线划分的多个区域的晶片附着到保持带上面,包括:用于夹持环形框架的框架夹持装置;多个带夹持装置,用于夹住在环形框架的内圆周和保持带上的晶片之间的区域,所述保持带安装在被夹持在框架夹持装置上的环形框架上;和用于沿径向方向移动多个带夹持装置的带扩展装置。
地址 日本东京