发明名称 |
带扩展设备 |
摘要 |
用于使保持带扩展的带扩展设备,该保持带安装在环形框架上,并且具有由多根分割线划分的多个区域的晶片附着到保持带上面,该带扩展设备包括,用于夹持环形框架的框架夹持装置;多个带夹持装置,用于夹住在环形框架的内圆周和保持带的晶片之间的区域,该保持带安装在被夹持在框架夹持装置上的环形框架上;和沿径向方向移动多个带夹持装置的带扩展装置。 |
申请公布号 |
CN1681082A |
申请公布日期 |
2005.10.12 |
申请号 |
CN200510060081.5 |
申请日期 |
2005.03.31 |
申请人 |
株式会社迪斯科 |
发明人 |
永井祐介;大宫直树;饭塚健太吕 |
分类号 |
H01L21/00;H01L21/301;H01L21/304;H01L21/78 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
王琼 |
主权项 |
1.一种用于使保持带扩展的带扩展设备,保持带安装在环形框架上,并且具有由多根分割线划分的多个区域的晶片附着到保持带上面,包括:用于夹持环形框架的框架夹持装置;多个带夹持装置,用于夹住在环形框架的内圆周和保持带上的晶片之间的区域,所述保持带安装在被夹持在框架夹持装置上的环形框架上;和用于沿径向方向移动多个带夹持装置的带扩展装置。 |
地址 |
日本东京 |