发明名称 电子部件及电子部件的制造方法
摘要 本发明涉及电子部件的制造方法,具有重复层叠金属薄膜和电介质薄膜的工序,在层叠了金属薄膜后,层叠有开口的电介质薄膜,通过再层叠金属薄膜覆盖上述开口,形成通过上述开口导电性地连接多个上述金属薄膜的贯通电极。
申请公布号 CN1681056A 申请公布日期 2005.10.12
申请号 CN200510055192.7 申请日期 2000.04.19
申请人 松下电器产业株式会社 发明人 本田和义;越后纪康;小田桐优;杉本高则
分类号 H01G4/38;H01G4/33;H01L21/02;H01L21/768 主分类号 H01G4/38
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 叶恺东
主权项 1.一种电子部件的制造方法,有重复层叠金属薄膜和电介质薄膜的工序,其特征在于:层叠了金属薄膜后,层叠有开口的电介质薄膜,通过再层叠金属薄膜覆盖上述开口,形成通过上述开口导电性地连接多个上述金属薄膜的贯通电极。
地址 日本大阪府