发明名称 WAFER TRANSFER ROBOT OF WET STATION
摘要
申请公布号 KR20050098103(A) 申请公布日期 2005.10.11
申请号 KR20040023419 申请日期 2004.04.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HWANG, TAE HA
分类号 B65G49/07;(IPC1-7):B65G49/07 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
主权项
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