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经营范围
发明名称
Manufacturing method for Extreme UltraViolet mask
摘要
申请公布号
KR100520155(B1)
申请公布日期
2005.10.10
申请号
KR20000081756
申请日期
2000.12.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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