| 发明名称 |
ATMOSPHERIC PRESSURE PLASMA EQUIPMENT AND METHOD FOR REMOVING THIN FILM FROM SUBSTRATE USING THIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050097174(A) |
申请公布日期 |
2005.10.07 |
| 申请号 |
KR20040022279 |
申请日期 |
2004.03.31 |
| 申请人 |
LG.PHILIPS LCD CO., LTD. |
发明人 |
OH, JAE YOUNG;HONG, SUNG JIN |
| 分类号 |
G02F1/13;(IPC1-7):G02F1/13 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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