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发明名称 NANOELECTRONIC AND MICROELECTRONIC CLEANING COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 CA2558069(A1) 申请公布日期 2005.10.06
申请号 CA20052558069 申请日期 2005.02.11
申请人 MALLINCKRODT BAKER, INC. 发明人 HSU, CHIEN PIN SHERMAN
分类号 C11D11/00;C11D3/39;C11D3/395;C11D7/22;C11D7/26;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;G03F7/42 主分类号 C11D11/00
代理机构 代理人
主权项
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