用于扼制基底电荷累积的离子束辐照装置和方法

摘要

一种离子束辐照装置配备一等离子体发生器，后者产生一等离子体并将其供给一基底上游一侧附近的一个区域，借此扼制由于离子束辐照所造成的基底表面的充电。把用于产生等离子体的无线电频率电功率供给一等离子体发生器的无线电频率电源是一用于生成通过对一初始无线电频率信号进行调幅而形成的无线电频率电功率的无线电频率电源。

主权项

1.一种用于以一离子束辐照一基底的装置，包括：一通过无线电频率放电产生等离子体的等离子体发生器，等离子体发生器把等离子体供给到基底上游侧附近的一个区域以借此扼制由于离子束辐照所造成的基底表面的电荷累积(charge up)；以及一无线电频率电源，把一无线电频率电功率供给等离子体发生器以便产生等离子体，其中无线电频率电源输出包含一信号的无线电频率电功率，所述信号通过对无线电频率电源的一初始无线电频率信号进行调幅形成。