在沉积过程中维持副产物挥发性的方法和设备

摘要

一种通入含氟气流到沉积过程用以保持过程副产物的挥发性并及减少或消除副产物的形成和/或干扰的方法和设备。

主权项

1.一种在基材上沉积薄膜的方法，包括下列步骤：提供沉积设备，包括反应室，所述室具有进口，与前级管道连接的排放口，所述前级管道与泵连接；在所述室内提供一基材；将需沉积的组分通入到所述室的所述基材上；在所述基材上沉积所述组分；向所述前级管道通入含氟组分。