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发明名称 Reduction of aberrations produced by Wien filter in a scanning electron microscope and the like
摘要
申请公布号 KR100518812(B1) 申请公布日期 2005.10.05
申请号 KR20020072715 申请日期 2002.11.21
申请人 发明人
分类号 H01J37/147;H01J37/153;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
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