发明名称 连接一传导线迹至一半导体芯片的方法
摘要 本发明涉及一种连接传导线迹至半导体芯片的方法,包括芯片上的传导衬垫对准传导线迹的通孔,同时底层覆盖通孔于芯片对侧,其中传导线迹于底层属于不同材料,去除部分或全部底层因而暴露出通孔,以及在通孔形成一接点其电连接传导线迹与衬垫。该方法包括电镀传导线迹至底层上,在衬垫与通孔对准后而在去除部分或全部底层前,以机械方式附着芯片至传导线迹,以及形成开口在位于通孔正下方的黏着剂,因而于去除部分或全部底层后而于形成接点前暴露出衬垫。
申请公布号 CN1222025C 申请公布日期 2005.10.05
申请号 CN01135441.0 申请日期 2001.09.28
申请人 钰桥半导体股份有限公司 发明人 林文强
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 陈亮
主权项 1、一种连接一传导线迹至一半导体芯片的方法,包含:步骤一,提供一半导体芯片其包括一衬垫;步骤二,附着一传导线迹至一底层,该传导线迹包括一通孔,其中所述传导线迹及所述底层属于不同材料,对准所述衬垫与所述传导线迹的通孔,而底层覆盖芯片对侧通孔;步骤三,去除部分或全部底层,因而暴露出通孔;以及步骤四,形成一接头于通孔其电连接传导线迹与衬垫。
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