发明名称 |
Magnetoresistance sensor for measuring dimensions |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1329695(B1) |
申请公布日期 |
2005.10.05 |
申请号 |
EP20030100897 |
申请日期 |
1997.05.09 |
申请人 |
TESA SA |
发明人 |
BEZINGE, ALEX;BOLLI, JEAN-LUC |
分类号 |
G01B7/14;G01B7/00;G01B;G01B7/02;G01B7/30;G01D;G01D5/16;G01D5/18;G01D5/245;G01R33/09;H01L43/08;(IPC1-7):G01D5/16 |
主分类号 |
G01B7/14 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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