物理场作用下化学气相沉积快速制备炭／炭复合材料的方法

摘要

本发明涉及化合物分解法，尤其是沉积炭及碳化物的方法，其特征在于：导电层采用钨丝、钼丝和石墨层，通过导电层调控物理场；将炭/炭复合材料坯体置于化学气相沉积炉内，控制沉积温度600～1100℃，以碳氢气体为反应气体，以Ar或N₂为稀释气体，碳氢气体浓度5％至100％，反应气体流量0.2至1.2m²/h·m²；采用本发明提高了炭/炭复合材料的致密速度，缩短了制备周期，调控热解炭的结构，致密、均匀性优良，降低了制备成本。

主权项

1.物理场作用下化学气相沉积快速制备炭/炭复合材料的方法，其特征在于：导电层采用钨丝、钼丝和石墨层；将炭/炭复合材料坯体置于化学气相沉积炉内，控制沉积温度600～1100℃，以碳氢气体为反应气体，以Ar或N2为稀释气体，碳氢气体浓度5％至100％，反应气体流量0.2至1.2m2/h·m2；在1kPa至微正压条件下，碳源气体实施连续式或间断式送气，通过导电层的设计和调节工艺参数以获得材料所需要结构的基本热解炭。