发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10214906(A) 申请公布日期 1998.08.11
申请号 JP19970248298 申请日期 1997.09.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KUBO MINORU;NOZAWA KATSUYA;SUZUKI MASAKATSU;UENOYAMA TAKESHI;KUMABUCHI YASUHITO
分类号 H01L29/78;H01L21/06;H01L21/338;H01L21/8232;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/092;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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