发明名称 |
绝缘层上覆硅(SOI)组件的联机结构 |
摘要 |
本发明涉及一种半导体接触窗联机结构及其形成的方法,此联机结构具有一绝缘衬底;一第一半导体组件,形成于该绝缘衬底上;一非导电性栅极内联机层,形成于该绝缘衬底上,该非导电性栅极内联机层连接第二半导体组件的栅极;以及一硅化物层,形成于该栅极内联机层以及该第一半导体组件的有源区上,借此形成连接。通过本发明的方法所生产的电路具有较低的接触窗数目、复杂度与尺寸。 |
申请公布号 |
CN1677681A |
申请公布日期 |
2005.10.05 |
申请号 |
CN200410058645.7 |
申请日期 |
2004.07.27 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
廖忠志 |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/768;H01L21/84 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
王玉双;高龙鑫 |
主权项 |
1.一种半导体接触窗连接线结构,包含:一绝缘衬底;一第一半导体组件,形成于该绝缘衬底上;一非导电性栅极内联机层,形成于该绝缘衬底上,该非导电性栅极内联机层连接第二半导体组件的栅极;以及一硅化物层,形成于该栅极内联机层以及该第一半导体组件的有源区上,借此以形成连接。 |
地址 |
台湾省新竹市 |