发明名称 绝缘层上覆硅(SOI)组件的联机结构
摘要 本发明涉及一种半导体接触窗联机结构及其形成的方法,此联机结构具有一绝缘衬底;一第一半导体组件,形成于该绝缘衬底上;一非导电性栅极内联机层,形成于该绝缘衬底上,该非导电性栅极内联机层连接第二半导体组件的栅极;以及一硅化物层,形成于该栅极内联机层以及该第一半导体组件的有源区上,借此形成连接。通过本发明的方法所生产的电路具有较低的接触窗数目、复杂度与尺寸。
申请公布号 CN1677681A 申请公布日期 2005.10.05
申请号 CN200410058645.7 申请日期 2004.07.27
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 廖忠志
分类号 H01L27/12;H01L21/768;H01L21/84 主分类号 H01L27/12
代理机构 隆天国际知识产权代理有限公司 代理人 王玉双;高龙鑫
主权项 1.一种半导体接触窗连接线结构,包含:一绝缘衬底;一第一半导体组件,形成于该绝缘衬底上;一非导电性栅极内联机层,形成于该绝缘衬底上,该非导电性栅极内联机层连接第二半导体组件的栅极;以及一硅化物层,形成于该栅极内联机层以及该第一半导体组件的有源区上,借此以形成连接。
地址 台湾省新竹市