| 摘要 |
一种制作高功率发光二极体的方法，包含下列步骤：(A)提供一具有一磊晶体的蓝宝石基板，及一具有一由可被一雷射光分解的材料所制成的中间膜的第一基板，第一基板是由可被该雷射光穿透的材料所制成；(B)利用一贴合膜黏合磊晶体及中间膜；(C)将蓝宝石基板研磨达一小于50μm的预定厚度；(D)利用雷射光照射第一基板裂解中间膜的材料，以分离第一基板及蓝宝石基板；及(E)以一蚀刻移除贴合膜。该方法可制作出一高功率发光二极体，包含：一具有一磊晶面及一相反磊晶面的背光面且一预定厚度小于50μm的蓝宝石基板及一形成在蓝宝石基板之磊晶面的磊晶体。 |
