| 主权项 |
1.一种自调式跨腔体传输机构装置,系至少包括:一内部设有可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条机构装置,用以提供同时具可水平及垂直方向往返来回可自我调整齿形齿面相位之特征;二真空腔体,系用以提供真空镀膜作业环境的密闭空间;一动力源,系用以提供传输机构装置动力来源;一传动轴机构装置,其表面设有齿轮设计,其齿面与可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条相咬合,除了用以提供个别真空腔体内部传输动力的传递,并同时用以跨腔体之间的传输动力的传递;一承载载具,系用以承载及传输被镀物(或基材)之载具容器。2.如申请专利范围第1项所述之自调式跨腔体传输机构装置,其中该内部具可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条机构装置,系至少包括:一承靠基座,其至少设有一圆孔及一定位柱,系用于与承载载具底部相组配,并至少设有一定位销,系用于定位及安装可左右伸缩元件之一端,及设有至少一容置凹孔,系用于定位及安装可上下伸缩元件之一端;一可拆卸齿条,系用于与传动轴机构上的齿轮组齿面相咬合,使能跨腔体稳定传动承载载具,并设有至少一定位销,系用于定位及安装可左右伸缩元件之另一端;二可左右伸缩元件,具有相当程度的左右自我伸缩自由度,系用于缓冲承靠基座与可拆卸齿条之间媒介;一可上下伸缩元件,具有相当程度的上下自我伸缩自由度,系用于缓冲承靠基座与承载载具之间媒介;二扣件,系用于连接承靠基座与承载载具之间媒介。3.如申请专利范围第1项所述之自调式跨腔体传输机构装置,其中,该承载载具底部更设有至少一定位孔洞及一扣件锁孔,使得内部具可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条机构装置易于安装组配于承载载具底部。4.如申请专利范围第2项之内部具可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条装置,其中,该可拆卸齿条系可将前、后第一齿削半齿,并降低其齿面高度,使当跨腔体转换过程中,更易于调整齿面相位而与传动轴齿轮齿面相咬合。5.如申请专利范围第2项之内部具可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条装置,其中,该可左右伸缩元件系为一弹簧。6.如申请专利范围第2项之内部具可左右、上下自我伸缩调整齿面相位之齿条装置,其中,该可上下伸缩元件系为一弹簧。图式简单说明:图一系显示习知连续式跨腔体溅渡设备作业流程示意图图二系显示习知连续式跨腔体溅镀设备传输机构示意图图三系显示习知独立腔体内部传动机构示意图图四系显示本发明自调式齿条机构装置立体分解图图五系显示本发明自调式齿条机构装置组合配置图图六系显示本发明机构装置在跨腔体前进或回送时,其可左右伸缩元件局部伸缩调整分解示意图图七系显示本发明自调式齿条机构装置剖面示意图图八系显示本发明机构装置在跨腔体前进或回送时,其可上下伸缩元件局部伸缩调整分解示意图图九系显示本发明机构装置跨腔体前进或回送过程传输示意图 |
