| 发明名称 |
ELECTRIC CHARACTERISTIC MEASURING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09120983(A) |
申请公布日期 |
1997.05.06 |
| 申请号 |
JP19960271365 |
申请日期 |
1996.09.20 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
KONO MOTOHIRO;NAKATANI IKUYOSHI;SAKAI TAKAMASA |
| 分类号 |
G01R31/26;G01B11/00;G01B11/14;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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