发明名称 | 定位套件与定位方法 | ||
摘要 | 一种定位套件与定位方法,适用于机台之载入埠与搬运系统之间的定位。此定位套件包括讯号发射单元及定位板,分别置于搬运系统及载入埠上。其中,讯号发射单元上有二定位点可产生二光束射向定位板,且定位板上有位置对应于二定位点的二孔洞。当此二光束可垂直于水平状态之定位板而穿过该二孔洞时,即表示载入埠已对准搬运系统。 | ||
申请公布号 | TW200531905 | 申请公布日期 | 2005.10.01 |
申请号 | TW093106927 | 申请日期 | 2004.03.16 |
申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 林柏青;杨育正 |
分类号 | B65G49/07;H01L21/68;G01B11/14 | 主分类号 | B65G49/07 |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号 |