发明名称 定位套件与定位方法
摘要 一种定位套件与定位方法,适用于机台之载入埠与搬运系统之间的定位。此定位套件包括讯号发射单元及定位板,分别置于搬运系统及载入埠上。其中,讯号发射单元上有二定位点可产生二光束射向定位板,且定位板上有位置对应于二定位点的二孔洞。当此二光束可垂直于水平状态之定位板而穿过该二孔洞时,即表示载入埠已对准搬运系统。
申请公布号 TW200531905 申请公布日期 2005.10.01
申请号 TW093106927 申请日期 2004.03.16
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 林柏青;杨育正
分类号 B65G49/07;H01L21/68;G01B11/14 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行一路12号