平台设备和曝光装置

摘要

一种平台设备，其藉由使用一平面马达以驱动一可移动元件，而该可移动元件上安装一物体，该平台设备包含：(i)一定子单元，其具有一线圈群；和(ii)该可移动元件，其在该定子单元上移动，该定子单元包含：(a)第一区，其中该物体受到第一处理，和(b)第二区，其中该物体受到第二处理，其中在定子单元中的线圈群受到独立于第一和第二区间的温度控制。