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经营范围
发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON POLYKRISTALLINEM DÜNNEN FILM, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON OXIDSUPRALEITERN UND VORRICHTUNG DAFÜR
摘要
申请公布号
DE69730591(T2)
申请公布日期
2005.09.29
申请号
DE1997630591T
申请日期
1997.10.23
申请人
FUJIKURA LTD., TOKIO/TOKYO
发明人
IIJIMA, YASUHIRO;HOSAKA, MARIKO;TANABE, NOBUO;SADAKATA, NOBUYUKI;SAITOH, TAKASHI
分类号
C23C14/08;C23C14/22;C23C14/46;H01L39/24;(IPC1-7):C30B28/00;C01G25/00;C01G15/00;C01G3/00;H01B12/00;C30B23/00;C01G1/00;C30B29/22
主分类号
C23C14/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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