发明名称 VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG VON KERAMIKEN MITTELS CCVD
摘要
申请公布号 DE60022191(D1) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 DE20006022191 申请日期 2000.06.29
申请人 NGIMAT CO., ATLANTA 发明人 HUNT, TYE;MCENTYRE, ERIC;NEUMAN, ANDREW;VINSON, SCOTT
分类号 C03B29/08;C03C17/00;C03C17/245;C23C16/453;C23C16/46;C23C16/54;H05K3/12;H05K3/14;(IPC1-7):C23C16/453;C23C16/513 主分类号 C03B29/08
代理机构 代理人
主权项
地址