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发明名称 SUBSTRATE DEPOSITING METHOD AND ORGANIC MATERIAL DEPOSITING APPARATUS
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申请公布号 WO2005091683(A1) 申请公布日期 2005.09.29
申请号 WO2005KR00269 申请日期 2005.01.29
申请人 DOOSAN DND CO., LTD.;HWANG, CHANG-HUN;LIM, GUN-MOOK;WON, YOU-TAE;NOH, SOK-WON;KIM, KWANG-HO;KANG, TAEK-SANG;KIM, SEUNG-HAN 发明人 HWANG, CHANG-HUN;LIM, GUN-MOOK;WON, YOU-TAE;NOH, SOK-WON;KIM, KWANG-HO;KANG, TAEK-SANG;KIM, SEUNG-HAN
分类号 C23C14/24;H05B33/10;B05D7/24;C23C14/12;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/50;H05B33/14;(IPC1-7):H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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