图形形成材料、以及图形形成装置和图形形成方法

摘要

一种图形形成材料，其特征在于在支撑体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物和光聚合引发剂，该粘合剂的I/O值为0.300－0.650，而且玻璃化转变温度(Tg)为80℃以上。上述粘合剂含有共聚物，该共聚物优选具有来自苯乙烯和苯乙烯衍生物中的至少一种的结构单元。本发明还涉及具有上述图形形成材料的图形形成装置和使用上述图形形成材料的图形形成方法。在本发明中，通过使在感光层中含有的粘合剂的I/O值和玻璃化转变温度都在一定的数值范围内，可以提供分辨率和遮盖性优良且显影性也优良、而且可抑制熔边产生的图形形成材料、以及具有该图形形成材料的图形形成装置和使用该图形形成材料的图形形成方法。

主权项

1.一种图形形成材料，其特征在于在支撑体上至少具有感光层，该感光层含有粘合剂、聚合性化合物和光聚合引发剂，该粘合剂的I/O值为0.300-0.650，而且玻璃化转变温度Tg为80℃以上。