溅射靶、烧结体及利用它们制造的导电膜、有机EL元件及其所用的衬底

摘要

作成一种烧结体，其含有作为成分的氧化铟、氧化锌、氧化锡的1种以上，在该烧结体中含有氧化铪、氧化钽、镧系氧化物、及氧化铋的任1种以上的金属。在该烧结体上安装背板构成溅射靶。利用该溅射靶通过溅射在给定衬底上制造导电膜。该导电膜维持与过去相同程度的透明性，同时实现大的功函数。使用该导电膜，能够实现空穴注入效率提高的EL元件等。

主权项

1.一种溅射靶，作为成分含有选自铟、锌、锡的1种以上的金属，其中，作为第三成分，含有选自铪、钽、铋或镧系金属的至少1种以上的金属。