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发明名称 HIGH PURITY NICKEL/VANADIUM SPUTTERING COMPONENTS; AND METHODS OF MAKING SPUTTERING COMPONENTS
摘要
申请公布号 EP1579019(A2) 申请公布日期 2005.09.28
申请号 EP20030783754 申请日期 2003.11.24
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC. 发明人 GUO, WEI;TURNER, STEPHEN, P.;CAWLEY, EDWARD, F.
分类号 C01G;C22C19/03;C22F1/10;C23C14/00;C23C14/34;C25B11/00;H01L21/203;(IPC1-7):C22C19/03 主分类号 C01G
代理机构 代理人
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