Verfahren zum Prüfen einer Belichtungsmaske,申请号DE20011000820-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zum Prüfen einer Belichtungsmaske
摘要
申请公布号	DE10100820(B4)	申请公布日期	2005.09.22
申请号	DE20011000820	申请日期	2001.01.10
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG	发明人	KECK, MARTIN;ZIEGLER, WOLFRAM;LIEBE, ROMAN
分类号	G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/00	主分类号	G03F1/00
代理机构		代理人
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