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发明名称 Selbstjustierendes Verfahren zur Herstellung eines Transistors
摘要
申请公布号 DE10249897(B4) 申请公布日期 2005.09.22
申请号 DE2002149897 申请日期 2002.10.25
申请人 AUSTRIAMICROSYSTEMS AG, UNTERPREMSTAETTEN 发明人 ENICHLMAIR, HUBERT;KRAFT, JOCHEN
分类号 H01L21/331;H01L29/10;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L29/73 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
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