| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung von Silicium |
| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Silicium durch thermische Zersetzung einer gasförmigen Mischung aus Monosilan, Monochlorsilan und gegebenenfalls weiteren Chlorsilanen, wie z. B. Dichlorsilan.
|
| 申请公布号 |
DE102004010055(A1) |
申请公布日期 |
2005.09.22 |
| 申请号 |
DE200410010055 |
申请日期 |
2004.03.02 |
| 申请人 |
DEGUSSA AG |
发明人 |
POEPKEN, TIM;SONNENSCHEIN, RAYMUND |
| 分类号 |
C01B33/027;C01B33/029;C01B33/03;C01B33/035;(IPC1-7):C01B33/027 |
主分类号 |
C01B33/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
