| 发明名称 | 抗蚀剂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在调制抗蚀剂时的溶解性、抗蚀剂稳定性和安全性都优异的抗蚀剂组合物。所述抗蚀剂组合物包括抗蚀剂成分与有机溶剂，所述有机溶剂是从(a1)烷基碳原子数为2或2以上的一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一、二或三丙二醇芳基醚、(a4)1，3－丁二醇或甘油的烷基醚、(b1)烷基碳原子数为3或3以上的乙酸一丙二醇烷基醚酯、(b2)乙酸二或三丙二醇烷基醚酯、(b3)乙酸一、二或三丙二醇芳基醚酯、(b4)乙酸1，3－丁二醇或甘油的烷基醚酯以及(b5)乙酸C<SUB>3－4</SUB>链烷多醇酯中选出的至少1种。 | ||
| 申请公布号 | CN1670628A | 申请公布日期 | 2005.09.21 |
| 申请号 | CN200510055829.2 | 申请日期 | 2005.03.15 |
| 申请人 | 大赛璐化学工业株式会社 | 发明人 | 松田洋和;堀口明;大谷浩司;高桥一史 |
| 分类号 | G03F7/42;C11D7/26 | 主分类号 | G03F7/42 |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张平元;赵仁临 |
| 主权项 | 1.一种抗蚀剂组合物，其是含有抗蚀剂成分和有机溶剂的抗蚀剂组合物，其特征在于，所述有机溶剂是选自(a1)烷基碳原子数为2或2以上的一丙二醇烷基醚、(a2)二或三丙二醇烷基醚、(a3)一、二或三丙二醇芳基醚、(a4)1，3-丁二醇或甘油的烷基醚、(b1)烷基碳原子数为3或3以上的乙酸一丙二醇烷基醚酯、(b2)乙酸二或三丙二醇烷基醚酯、(b3)乙酸一、二或三丙二醇芳基醚酯、(b4)乙酸1，3-丁二醇或甘油的烷基醚酯以及(b5)乙酸C3-4链烷多醇酯中的至少1种溶剂。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||