压电执行器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种压电执行器(1)，它包括至少一个叠层状的压电元件(2)，该压电元件具有至少两层沿其叠层方向(10)叠置的电极层(7，8)和至少一层分别布置在两层电极层之间的压电层(4)，和包括一个预压装置(15)，用来把一个力(32)通过压电层(4)的至少一个力引入面(13，14)引入该压电层的一个体积中，这些力引入面布置在至少一个背向预压装置(15)的压电层(4)的表面段(11，12)上。这种压电执行器的特征是，该力引入面小于该压电层的表面段，且该体积是该压电层的部分体积(5)。这种压电执行器的制造是通过把一个力经该压电层的力引入面引入该部分体积来实现的。力引入在该压电层的部分体积中引起垂直于叠层方向的磁畴的极化转换。这种压电执行器的特点是具有相当大的百分率范围的行程，且每对接触面可传递几十分之一牛顿的力。

主权项

1.压电执行器(1)，包括：-至少一个叠层状的压电元件(2)，该压电元件具有至少两层沿其叠层方向(10)叠置的电极层(7，8，9)和至少一层分别布置在两层电极层(7，8，9)之间的压电层(4)；-至少一个预压装置(15)，用来把一个力(32)通过压电层(4)的至少一个力引入面(13，14，23，24)引入压电层(4)的一个体积中，这些力引入面布置在至少一个背向预压装置(15)的压电层(4)的表面段(11，12)上，其特征为，力引入面(13，14，23，24)小于压电层(4)的表面段(11，12)，且该体积是压电层(4)的一部分体积(5)。