| 发明名称 |
Integrated device comprising a semiconductor material microactuator, in particular for a hard disc read/write head |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0975086(B1) |
申请公布日期 |
2005.09.21 |
| 申请号 |
EP19980830447 |
申请日期 |
1998.07.22 |
| 申请人 |
STMICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
CINI, DARIO;VIGNA, BENEDETTO |
| 分类号 |
G11B5/596;G11B5/56;G11B21/02;H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 |
主分类号 |
G11B5/596 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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