用于离子束注入机的可调注入角的工件支撑结构

摘要

一种离子束注入机，包括：用于产生沿着射束管线运动的离子束(14)的离子束源，以及注入腔，工件(24)设于注入腔中并与离子束相交，以便通过离子束来对工件表面进行离子注入。离子束注入机还包括与注入腔相连并支撑了工件的工件支撑结构(100)。该工件支撑结构包括与注入腔可旋转地相连的第一旋转件(110)，其包括延伸穿过该旋转件并与注入腔壁中的孔对齐的孔(121)。该工件支撑结构还包括与所述第一旋转件可旋转地相连的第二旋转件(150)，其具有与第一旋转件的旋转轴线偏离的旋转轴线，所述第二旋转件覆盖了第一旋转件中的孔。工件支撑结构还包括固定地连接在第二旋转件上的第三部件，该第三部件包括支撑了工件的可旋转的驱动件(200，204)。第一旋转件、第二旋转件以及第三旋转部件的可旋转驱动件可进行旋转，以使工件沿着移动路径运动，从而对注入面进行注入，其中，离子束在撞击到工件注入面之前运动穿过注入腔而运动的距离是恒定的。

主权项

1.一种离子束注入机，包括：a)离子束源，其用于产生沿着射束管线运动的离子束；b)限定了内部区域的注入腔，工件设于所述内部区域中并与所述离子束相交，以便通过所述离子束来对所述工件的注入面进行离子注入；和c)与所述注入腔相连并支撑了所述工件的工件支撑结构，所述工件支撑结构包括：1)与所述注入腔可旋转地相连的第一旋转件，其包括延伸穿过所述旋转件并与所述注入腔的壁中的孔对齐的孔；2)与所述第一旋转件可旋转地相连的第二旋转件，其具有与所述第一旋转件的旋转轴线偏离的旋转轴线，所述第二旋转件覆盖了所述第一旋转件中的孔；3)固定地连接在所述第二旋转件上的第三部件，所述第三部件包括支撑了所述工件的可旋转的驱动件，所述可旋转驱动件可相对于所述第一和第二旋转件旋转，并延伸穿过所述第二旋转件和所述第一旋转件中的孔，所述第一旋转件、第二旋转件以及第三旋转部件的可旋转驱动件可进行旋转，以使所述工件沿着移动路径运动，从而对所述注入面进行注入，其中，离子束在撞击到所述工件的注入面之前运动穿过所述注入腔的距离是恒定的。