| 发明名称 | 有源矩阵液晶显示装置 | ||
| 摘要 | 提供了一种具有显示电路和驱动电路的有源矩阵液晶显示装置，包括：包含形成在衬底上的氮化硅的第一绝缘膜；包含形成在所述第一绝缘膜上的氧化硅的第二绝缘膜；形成在所述第二绝缘膜上的半导体膜；形成在所述半导体膜上的栅绝缘膜；以及形成在所述栅绝缘膜上的栅电极，其中所述半导体膜含有浓度为7×10<SUP>19</SUP>原子/立方厘米的碳或氧或氮。 | ||
| 申请公布号 | CN1670599A | 申请公布日期 | 2005.09.21 |
| 申请号 | CN200510054527.3 | 申请日期 | 1993.05.29 |
| 申请人 | 株式会社半导体能源研究所 | 发明人 | 山崎舜平;竹村保彦 |
| 分类号 | G02F1/136;G02F1/133;H01L29/786 | 主分类号 | G02F1/136 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 刘杰 |
| 主权项 | 1.一种具有显示电路和驱动电路的有源矩阵液晶显示装置，包括：包含形成在衬底上的氮化硅的第一绝缘膜；包含形成在所述第一绝缘膜上的氧化硅的第二绝缘膜；形成在所述第二绝缘膜上的半导体膜；形成在所述半导体膜上的栅绝缘膜；以及形成在所述栅绝缘膜上的栅电极，其中所述半导体膜含有浓度为7×1019原子/立方厘米的碳。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||