用于量测沟槽电容器间之漏电流的测试元件及测试方法

摘要

一种用于量测沟槽电容器间之漏电流的测试元件，具有复数平行排列之位元线区，其中每一位元线区，包括一第一沟槽电容对，具有相邻之一第一、第二沟槽电容器；一第一、第二电晶体，各具有一第一端分别电性连接至第一、第二沟槽电容器，以及一闸极分别耦接一第一、第二字元线；以及一第一、第二位元线，系分别电性连接至第一、第二电晶体之一第二端，其中复数位元线区之第一位元线系相连在一起，且第二位元线系相连在一起；而每一位元线区中之第一、第二位元线系为分离且不相互连接，并且第一、第二字元线系垂直于位元线区。