微球透镜与其阵列之制造方法

摘要

本发明一种微球透镜与其阵列之制造方法，主要是利用铁氟龙(PTFE)本身具疏水物理性质之特点，使熔融中之光阻微透镜接触角增大成微球透镜，其步骤系在Siwafer基板上涂布(coating)一层铁氟龙薄膜，并藉由一道黄光微影技术将光阻制作成微圆柱结构，再以光阻热熔法熔融成微球透镜或微球透镜阵列，据此，不仅可简化制程步骤及降低生产设备与材料成本，更可制造出高效能与高品质之微透镜结构。