使用反射与萤光影像检测电子电路之系统及方法

摘要

本发明揭示一种检测电子电路之方法，其包括：在一第一时间间隔期间之一第一影像中，藉由侦测从一电子电路之至少一部分反射的光，而对该电子电路之至少一部分进行光学检测；在一第二时间间隔期间获取之一第二影像中，藉由萤光而从该电子电路之至少一部分发射的光进行光学检测；以及依据几何上一致之指示来指示该电子电路中的缺陷，该等几何上一致之指示系产生于：不仅藉由侦测从一电子电路之至少一部分反射的光而对该电子电路之至少一部分进行光学检测，而且对藉由萤光而从该电子电路之至少一部分发射的光进行光学检测。