覆盖环及电浆处理装置

摘要

一种覆盖环，其适用于电浆处理装置中，以固定晶圆并接触环形阴极套筒，其中环形阴极套筒具有外侧环面。覆盖环包括环形本体、侧局部环形本体及上局部环形本体。环形本体具有内环表面、下环形表面、外环表面及上环形表面。下环形表面系与环形阴极套筒接触。侧局部环形本体具有内侧环表面，其与环形本体之外环表面之全部连接以及与环形阴极套筒之外侧环面之部分连接。上局部环形本体具有底环形表面，其与环形本体之上环形表面之全部连接。