基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明在外壳体中相对向于基板搬出入口的一侧面上设置穿透窗。静电消除装置系设置于清洗处理部靠穿透窗侧的外面。穿透窗系由聚醯亚胺系树脂或丙烯酸系树脂等所构成。从静电消除装置所照射出的微弱X线通过穿透窗，到达清洗处理部的基板搬出入口、闸门、旋转夹盘、防护罩等处。旋转夹盘系具备有复数个导电性保持销。