薄膜电阻器结构及制造薄膜电阻器结构之方法

摘要

本发明提供一种薄膜电阻器结构及一种制造薄膜电阻器结构之方法。该薄膜电阻器结构包括一电界面层或头层(25、27)，即，钛(Ti)层(20)与氮化钛(TiN)层(22)之组合。该Ti层及TiN层的组合减少与该等电界面层相关的电阻。