| 摘要 |
本发明之课题在于，于光配向用偏光光照射装置当中，降低光照射面中之偏光轴的分散。本发明之解决手段为，包含照射灯1a所放射出的紫外线的光，于椭圆形聚光镜1b当中聚光，介于第1平面镜2及滤镜4，藉由可由透镜移动机构来调整光轴方向的位置之透镜 5，而调整为平行光，并入射于偏光元件 6。入射于偏光元件6的光被偏光而分离，并入射于积分器7而使照度分布达到一致，之后照射于图中未显示之配置于光照射面的处理件。由于设定为可调整透镜5的光轴方向的位置，因此可改变对入射于偏光元件6及积分器7的主光线的光轴之平行度(远心度(Telecentric))。因此，于光照射面上，可以使偏光轴的分散降到最低的方式，调整透镜5的位置。 |
