雷射照射装置及图案描绘方法

摘要

雷射光源(1)可射出雷射光。在从雷射光源射出的雷射光所入射的位置是配置有回折光学元件(22)。回折光学元件，是将入射雷射光分岐成复数雷射光。由回折光学元件分岐的复数雷射光是入射至第1伸缩镜片系(23)。第1伸缩镜片系，是将入射雷射光各收束于第1假想面上。