| 摘要 |
<P>Procédé de caractérisation géométrique de structures et dispositif pour la mise en oeuvre dudit procédé.Selon l'invention, une structure, décomposable en au moins une structure élémentaire ou élément de base (30), est éclairée et fournit alors une réponse optique, on détermine au moins un paramètre géométrique de l'élément de base et on lui attribue une valeur, on met en oeuvre un algorithme de régression qui détermine des valeurs modifiées du ou des paramètres, en vue de rendre l'écart entre la réponse théorique (32) de l'élément de base et la réponse acquise (34) au plus égal à un seuil, et d'obtenir l'image de la structure, et tant que l'écart entre les réponse acquise et théorique n'est pas satisfaisant, on effectue de nouvelles subdivisions du ou des éléments de base.</P>
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