发明名称 HERSTELLUNG VON LAYERED - SUPERLATTICE - MATERIALIEN UNTER AUSSCHLUSS VON SAUERSTOFF
摘要
申请公布号 DE69826015(T2) 申请公布日期 2005.09.15
申请号 DE19986026015T 申请日期 1998.07.17
申请人 SYMETRIX CORP., COLORADO SPRINGS;INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHINDLER, GUNTHER;HARTNER, WALTER;MAZURE, CARLOS;SOLAYAPPAN, NARAYAN;JOSHI, VIKRAM;DERBENWICK, F.
分类号 C23C18/12;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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