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发明名称 Method for ECR plasma deposition of carbon layers which provide electron emission under the effect of an applied electric field
摘要
申请公布号 EP0967844(B1) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP19990401545 申请日期 1999.06.22
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DELAUNAY, MARC;SEMERIA, MARIE-NOELLE
分类号 C01B31/02;C01B31/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/511;H01J37/32;H05H1/18;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/18 主分类号 C01B31/02
代理机构 代理人
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